26 關於超大型積體電路的製造流程中，用以製作有形電路與導線的製程順序，下列何者正確？
(A)薄膜製作→微影→蝕刻→摻雜
(B)微影→薄膜製作→摻雜→蝕刻
(C)蝕刻→摻雜→微影→薄膜製作
(D)摻雜→蝕刻→薄膜製作→微影

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統計： A(877), B(177), C(125), D(91), E(0) #1607229

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#2623117
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C或D
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