七、何謂磊晶成長?為何需要異質磊晶成長?異質磊晶成長須滿足那些條 件?(12分)

詳解 (共 2 筆)

陳JOY
陳JOY
詳解 #4369265
2020/11/11
磊晶成長:在原有晶片上,沿著本來的晶格,...
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hchungw
hchungw
詳解 #5058259
2021/09/02

磊晶(英語:Epitaxy),是指一種用於半導體元件製造過程中,在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱磊晶成長(Epitaxial Growth),或指以磊晶技術成長出的結晶,有時可能也概指以磊晶技術製作的晶粒。


磊晶技術可用以製造矽電晶體到CMOS積體電路等各種元件,尤其在製作化合物半導體例如砷化鎵磊晶晶圓時,磊晶尤其重要。(WIKI)