二、關於二氧化矽（SiO2）、氮化矽（Si3N4）與鋁（Al），請列出各一種最常用的濕式 蝕刻溶液（Wet etchant）。（10 分）

詳解 (共 1 筆)

cth800102
cth800102
詳解 #1839659
2017/03/11

HF：專吃氧化物

磷酸：專吃氮化物