五、⑴在黃光室的微影製程中，對於光阻有所謂的軟烤（Soft-Bake）與硬烤（Hard- Bake），請說明它們的功能各為何？使用溫度範圍各為何？

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cavslebron023
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詳解 #3853960
2020/03/30
軟烤（Soft-Bake） 完成光阻的...
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