四、波長為 193 nm 的深紫外光光源一直使用到 7 nm 的製程，而後在 5 nm 以後的製程中才廣泛使用 13.5 nm 的極紫外光當作光源。請說明有那些 解析度增強技術的組合使用，讓193 nm 的深紫外光光源能夠一直使用到 7 nm 的製程中。（25 分）